– 与VMECA Cartridge真空发生管集成 – 实现快速和稳定的真空时,消耗的空气最少 – 处理太阳能电池时,PEEK材料消散静电 – 低真空有助于保护太阳能电池免受损坏 – 根据晶圆尺寸提供各种尺寸